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2016 - Barbara Bruckner

Ionenstreuanalytik von dünnen Filmen

Research stay at the Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, SE
Feb. 2016


Barbara Bruckner
Contact: vorname.nachname(/\t)jku.at


Mein Forschungsaufenthalt an der Uppsala University in Schweden, diente der Charakterisierung verschiedener Proben (TiN, Ta, Ta2O5,…) mittels Ionenstreuanalytik. Insbesondere nutzte ich die "Elastische Rückstreudetektionsanalyse (ERDA = "Elasic Recoil Detection Analysis"). Dabei werden die Proben mit eine Ionenstrahl (z.B. He+) bestrahlt; leichte Elemente im Target werden dabei in Vorwärtsrichtung gestreut. Man analysiert die jeweils in einem festen Winkel herausgestreuten Atome. Aus ihrem Energiespektrum und der Flugzeit kann man dann die Zusammensetzung der Probe ermitteln.

Mittels ERDA ist es möglich, leichte Verunreinigungen in Proben zu quantifizieren, was mit Rutherford Backscattering (RBS) nicht möglich ist. Die dabei erhaltenen Konzentrationen der Proben wurden für weitere Untersuchungen und Interpretationen meiner Messdaten in Linz benötigt, die ich im Rahmen meiner Masterarbeit an der Abteilung für Atom- und Oberflächenphysik der JKU durchführe.

Zusätzlich untersuchte ich in Schweden einige der Proben (VO2, …) auch mit mittelenergetische Ionenstreuung (MEIS). Diese Ergebnisse sind eine Ergänzung zu bereits durchgeführten niederenergetischen Ionenstreumessungen in Linz. Durch Kombination der beiden beiden unabhängigen Messungen erhält man einen Überblick über einen größeren Energiebereich.