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Center for Nanoscale Semiconductors.

Das Zentrum beeinhaltet zwei optische Aufbauten, die für Mikrophotolumineszenzspektroskopie und Quantenoptik benutzt werden sowie Geräte für die Vermessung der thermischen Leitfähigkeit dünner Schichten.

Atomic Layer Deposition System Savannah 100

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Elektronenstrahl - Lithographie - Anlage: Raith eLine plus

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III - V Molekularstrahlepitaxie - Anlage

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Reinraum im LIT Open Innovation Center

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