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Linz Institute of Technology
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Reinraum.

Der erst kürzlich eröffnete Reinraum im Untergeschoß des LIT Open Innovation Center wurde finanziert durch Mittel des Bundesministeriums für Bildung, Wissenschaft und Forschung im Rahmen des Projekts Zentrum für Nanomaterialforschung und Prototyp-Entwicklung (ZNP, in Zusammenarbeit mit der TU Wien, Uni Innsbruck, dem ISTA und der FH Vorarlberg), der JKU und dem Land Oberösterreich. Im Reinraum werden wissenschaftliche Proben für die Grundlagenforschung und Prototypen hergestellt, gemeinsam mit verschiedenen Instituten und Abteilungen der Physik, Chemie, Mechatronik, Computerwissenschaften), wie auch mit externen Partnern und der Industrie.

Anwendungsbereiche sind die Quantentechnologien (insbesondere neuartige Halbleiter-basierte Lichtquellen für die sichere Datenübertragung durch Quantenschlüsselaustausch), die Silizium-basierte Photonik (mit potentiellen Anwendungen bei Datenübertragung in Data-Centers), die Sensorik, kaum wahrnehmbare Elektronik (z.B. für medizinische Anwendungen), ultraleichte Photovoltaik usw.

Die Umgebung im Reinraum erlaubt eine drastische Reduzierung der Partikelanzahl, was für die Herstellung von Bauelementen im Mikrometer- und Nanometerbereich notwendig ist.

Reinraum

Koordination

Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli,
a. Univ.-Prof. Dr. Thomas Fromherz

Adresse

Open Innovation Center
Johannes Kepler Universität Linz
Altenberger Straße 69
4040 Linz

Telefonnummer

+43 732 2468 9600

Reinraum-Team

Name Raum Durchwahl E-Mail
AR Ing. Stephan Bräuer HP006 9609, 9550 stephan.braeuer(at)jku.at
ARin Alma Halilovic HP006 9609, 9550 alma.halilovic(at)jku.at
ARin Ursula Kainz HP006 9609, 9550 ursula.kainz(at)jku.at
Ing. Albin Schwarz HP006 9609, 9550 albin.schwarz(at)jku.at
AD Ing. Ernst Vorhauer HP007 9610, 9550 ernst.vorhauer(at)jku.at

Was ist ein Reinraum?

In einem Reinraum ist die Konzentration von luftgetragenen Partikeln gegenüber herkömmlichen Labors stark reduziert. Dies ist für die Fertigung von elektronischen und optoelektronischen Bauelementen notwendig, da unerwünschte Staubpartikel die Funktionsfähigkeit der betroffenen Strukturen (mit typischen Größen unterhalb eines Mikrometers) beeinträchtigen würden. Die Luftqualität, Temperatur und Feuchtigkeit in einem Reinraum werden durch Ventilationssysteme und Filter gewährleistet und stetig kontrolliert. Dies dient auch zur Reproduzierbarkeit der Fertigungsprozesse. Um die Teilchendichte so niedrig wie möglich zu halten, müssen die ReinraumnutzerInnen geeignete Bekleidung tragen. Daher dürfen im Reinraum nur geeignete Vorrichtungen, Geräte und Materialien benutzt werden (z.B. darf normales Papier wegen dessen Faserstruktur nicht verwendet werden).
 

Wozu ein Reinraum an der JKU?

Verschiedene Forschungsgruppen an der JKU benutzen bereits für ihre Forschungstätigkeiten Reinräume oder Umgebungen mit kontrollierter Luftqualität. Das gilt insbesondere für das Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, aber auch für die Mechatronik. Der neue Reinraum am OIC wird für die Herstellung neuartiger elektronischer und photonischer Bauelemente für die Grundlagenforschung in Rahmen von FWF-, EU- (auch ERC-) Projekten und mit potentiellen Anwendungen in den Bereichen der Quantentechnologien, Photonik, flexiblen Elektronik und Sensorik benutzt werden. Damit erweitert sich das Spektrum der NutzerInnen aus Instituten der Physik, Mechatronik, Chemie und Informatik. Die gemeinsame Nutzung soll auch die Tür zu interdisziplinären Forschungsprojekten und Bildungsmaßnamen in hochaktuellen Themen im Bereich "Digital Transformation“ öffnen.